晶科电子的一位研发人员告诉记者:“2009年前,LED产业和MOCVD市场很小,只有爱思强、维易科和一家日本公司提供MOCVD设备。2009年后,由于背光源的应用,LED产业实现了井喷式的发展,给这两家公司提供了发展契机。由于专有技术、专利权等技术性垄断,新进入的MOCVD提供商,有的不能提供满足客户需求的设备和技术,有的未能及时提供设备赶上市场的窗口,进而奠定了爱思强和维易科变相垄断的局面。”
据GSC提供数据显示,国际上采用SiC作为衬底的芯片生产企业主要包括:美国的Cree公司、欧洲的SiCrystal和Norstel公司、亚洲的天科合达蓝光半导体有限公司和NionSteel公司,其中,美国Cree公司的SiC芯片技术和产销量均处于国际领先地位。
目前LED外延片生产技术主要采用MOCVD,世界范围内能够生产这一设备的企业不过3到5家。世界上最大的两家MOCVD生产商为德国的AIXTRON和美国的VEECO,它们占据全球MOCVD供应市场90%以上的市场份额,处于垄断地位。
摆脱“进口依赖”本土企业奋起反垄断
近年来,凭借高效节能、绿色环保等特点,LED产业在国内获得快速发展。科技部发布的《半导体照明科技发展“十二五”专项规划》指出,到2015年,LED产业规模预计将达到5000亿元,并明确指出80%以上的LED芯片要实现国产化。
如今,中国大陆的MOCVD设备增速已位居全球首位,同时也成为全球两大MOCVD设备企业爱思强和维易科的最大收入来源,量产型MOCVD依靠进口,严重制约着国内LED产业的自主化发展。
一位业内人士对《广东LED》透露,近年来政府大力扶持半导体照明产业“跨越式发展”。技术上鼓励先进LED技术的研发和量产,并将通过项目补贴、设备补贴等方式对LED外延芯片及照明应用企业进行政策扶持。由于要发展LED产业链“核心”,因此外延芯片自然成为发展重点。
历经几年的大力研发和核心技术的公关,国内众多企业纷纷推出国产MOCVD产品,标志中国企业在LED芯片生产核心设备国产化道路上取得新突破。从2011年开始,包括广东昭信集团、思捷爱普、理想新能源、中科宏微、青岛杰生光电等在内的多家企业纷纷宣布推出首台国产MOCVD,中科院西安光学精密机械研究所、南昌大学材料科学研究所等科研机构也发布了MOCVD研发计划书。截至2012年年底,国内已有近20家企业和科研团队宣布涉足MOCVD设备技术研发。
来自政府的MOCVD补贴也是内地芯片厂不断扩大机台规模和市场份额的重要推力。内地芯片企业通过挖角等方式从台厂聘请了大批优秀的工程师,这让内地芯片的性能快速提高。
多家权威机构发布的数据显示,MOCVD设备采购近两年出现“疯狂”增长,2010年前中国大陆MOCVD总装机量只有150台左右,2010年年底增至350台,2011年年底更是达到近700台。截至2012年11月底,国内量产MOCVD设备数量已达到909台。
随着中国芯片业的发展,芯片国产化率也在不断提高。中国LED产业需要有实力的、属于自己的MOCVD公司的出现,以提升整个LED产业的技术及创新能力。MOCVD设备国产化成功,意味着长期由国外垄断的技术将被打破,国内众多LED企业将告别对国外产品的完全依赖,国内LED自主产业生态链将更加完善,国内LED产业也将会迎来爆发点。