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半自动GAN/GaAs外延片清洗机
※ 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式。
※ 清洗规格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette； 4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※ 工艺说明:手动方式实现放件，取件，槽体间传送件。
※ 设备形式: 室内放置型。
※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性；
※ 工艺参数（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定；
※ 机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液路布置区域。
※ 药液供给及补液方式:分体式CDS自动供液系统
※ DI槽配有在线式水质检测装置；
※ 配有分体式废液回收系统；
※ 强排风风通道：￠200mm×1；排风量：1500m3/h×2
