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一、光电行业用超纯水处理设备水质标准
光电行业用超纯水处理设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部超纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本电路水质标准、外大规模电路水质标准。
二、光电行业用超纯水处理设备对水质的要求
新兴的光电材料生产、加工、清洗。LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、FPC/PCB线路板、电路板、大规模、超大规模电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。电路的度越高,对水质的要求也越高,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。
三、光电行业用超纯水处理设备应用场合
1、电解电容器生产铝箔及工作件的清洗。
2、电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液。
3、显像管和阴极射线管生产、配料用纯水。
4、黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水。
5、液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液。
6、晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制。
7、电路生产中高纯水清洗硅片。
8、半导体材料、器件、印刷电路板和电路。
9、LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏。
10、高品质显像管、萤光粉生产。
11、半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗。
12、超纯材料和超纯化学试剂、超纯材料。
13、实验室和中试车间。
14、汽车、家电表面抛光处理。
15、光电产品、其他高科技精微产品。
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