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净程是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净程。
洁净工作台:洁净工作台分为垂直流工作台和水平流工作台两种,洁净工作台是改善工艺条件、洁净洁度的净化设备之一。
层流罩:层流罩主要由箱体、风机、高效空气过滤器、粗效过滤器、多孔板、控制器组成,外壳冷板喷塑或不锈钢板。
风淋传递箱:风淋传递窗是洁净室的一种辅助设备。
传递窗:传递窗分为标准传递窗和风淋传递窗。标准传递窗主要用于洁净室与洁净室之间物品传递,以开门的次数,是有效洁净室与洁净室交叉污染较好的净化设备。
风淋室:风淋室是人员进入洁净无尘车间所必备的净化设备。
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