在罗茨水环真空机组中，真空室中的运动部件不应使用机油作为润滑剂，应使用扩散泵油和低饱和蒸汽压的硅油作为润滑剂，法兰和观察窗的密封部件应涂有高真空润滑脂。罗茨水环真空机组一般应在温度15 ~ 30℃、相对湿度不高于70%的洁净空气循环环境中工作，冷却水入口温度不应高于25℃。

　　罗茨水环真空机组不仅具有良好的机械性能和加工性能，还满足其他性能的要求，如易脱气、饱和蒸汽压低、有一定的化学稳定性、有一定的纯度和洁净度、适宜的辐射能力等。所以罗茨真空机组比较特殊，对清洗处理的要求严格，所以零件的污染要很大程度上去除或者减少。